| 腔体 | ·304不锈钢制造，并配备有加强筋 ·内部尺寸：470mm L×445mm D×522mm H ·配备φ380 mm 密封门，配备150 mm玻璃观察窗 ·采用硅胶O型密封圈 ·工作温度范围： -15 to 150°C |
| 真空/压力 | ·E-3 torr 使用机械泵，具体型号请点击 ·4E-5使用分子泵，具体型号请点击 |
| 接口/配套装置 | ·在腔体的右侧安装有一个KF40接口，用于连接真空泵 ·共计4个KF25接口，三个在腔体右侧一个在左侧 ·共计三个用于充放气的真阀，两个在在腔体后面，一个在左侧 ·顶部盖板可以开启，用于连接客户定制的设备 ·接口与阀门可以按照客户的要求进行定制
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| 应用 | ·磁控溅射腔体： 一个完整的磁控溅射系统包含：1个真空腔体，磁控溅射靶头，溅射电源（DC or RF）,真空泵系统（机械泵或者分子泵），水冷系统。 图示为一个使用真空腔体搭建的完成磁控溅射系统（DC/RF可切换） 此真空腔体可以安装单个或者多个溅射靶头。最多安装3个2"靶头或5个1"靶头。 如果您有定制需求，请联系我们对靶头匹配等事宜进行讨论，我们可以在真空腔体上根据您的需求安装好靶头。
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| 应用案例 | ·可安装3个2"靶头或5个1"靶头
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| 可选 | ·请点击图1选择通用的真空配件，点击图2选择可以摆放此腔体的真空泵系统点击 图3选择相关磁控溅射配件
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| 尺寸 |
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| 质保 | ·质保一年 |
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皖公网安备 34012302000974号
